WH-SC-01匀胶机（旋涂机）选用触摸屏设置可用于直径28~200mm晶片涂覆，仪器配有“安全开关按钮”，转速规模300-8500RPM,可选无油或有油真空泵等配件。

  WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺，制版及外表涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教育之用。其总体设计由姑苏汶颢微流控技能股份有限公司独立开发完结，具有独立知识产权。

  匀胶机快速发动和安稳的转速，能够确保胶厚度的一致性和均匀性。选用全触摸屏操控，三档转速。在发动之后先在低速下进行匀胶，之后切换至高速下进行甩胶，转速及相应的时刻别离可调；完成启停可控，转速实时调查等功能。仪器装备“安全开关”按钮，当进行高速作业时，关上上盖后，“安全开关”发动，作业过程中，上盖不能翻开。能够起到维护效果。

  汶颢股份匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的外表涂覆。该产品具有转速安稳和发动敏捷等长处，并能确保半导体材猜中涂胶厚度的一致性和均匀性。匀胶机一般配无油真空泵一同运用。

  匀胶机是一种常见用于资料薄膜制备工艺的实验室设备，它的原理相对比较简单，使用电机高速旋转时所产生的离心力使得试液或许胶液均匀地涂敷在基底资料的外表，望文生义，一种能够“让胶液均匀涂敷的机器”。

  匀胶机英文叫Spin Coater或许Spin Processor，又称：旋涂仪、旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。

  匀胶机既然是科研开发上制备薄膜资料必备的办法之一，运用者关于该设备最大的等待就在于其能够“均匀”地涂敷试液或许胶液。一般咱们会用均一性和可重复性来衡量薄膜资料制备的好坏。

  12.标配4英寸吸盘，可选直径8mm、1英寸、2英寸、3英寸、5英寸、6英寸吸附托盘。

  ①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④专用吸附盘⑤调查窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关

  （1）挑选适宜的专用吸附盘（略小于样本尺度），将缺口对准螺钉装置，吸附盘装置时一定要刺进究竟。

  （2）敞开电源，进入参数设置页面。可别离设置三个阶段转速和时刻，按工艺设置好转速和时刻，点击“承认”。

  （3）进入发动仪器界面，放片，要留意放正。翻开真空泵，点击“吸盘”后点“发动”，仪器开端作业。转速和作业阶段以及当时阶段剩余时刻可在显示屏上实时调查。

  （4）滴胶，动作要快。在第一阶段作业时刻内滴胶结束，关上上盖；随时刻推移主动作业第二和第三阶段。关上上盖后，安全开关发动，有必要比及仪器中止作业，上盖才干被翻开。

  下列毛病非本机毛病，用户可参阅自行解决，若仍不能排除毛病，请及时拨打本公司服务热线：，本公司将诚挚为广阔用户服务。

  拆开包装后，请依照装箱单具体查看配件，如有缺失，请联络销售商。留意有必要将一切包装和泡沫垫卸下，不然有或许因热量不易发出或遭到其它外界要素的影响引起火灾。操作前请具体阅读本阐明全部内容，并严厉依照要求顺次进行操作。若用户因不标准操作或违规操作而导致的人身伤害事端、仪器危害、财产损失，制造商将不予承当。

  (1)安顿本仪器的桌（台）面应坚实平坦，四只橡胶脚垫应与桌（台）面平稳触摸，不然会产生仪器不平稳，然后导致超标准的轰动，致使器材损害或仪器中止作业。

  (2)仪器作业时，操作人员不得倚靠在仪器上，非作业人员不得在非安全空间内停留，匀胶机周围不得放置危险物品。

  (3)所甩样片的尺度要大于吸附盘有用尺度2-3mm左右，假如用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气，一同形成胶被吸入抽气室，导致气路阻塞。

  (4)假如不小心胶被吸入了抽气室，要马上进行清洗，不然吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一同，形成电机转不动，拆开亦很困难。

  (5)气路阻塞或气泵损坏时电机也可作业产生飞片，故在发动电机前须承认气泵的状况良好及吸片确已吸住。

  (6)仪器呈现毛病应及时与销售商或厂家联络，切勿自行翻开机壳。禁止非专业人员修理，修理时有必要先拔下电源插头，避免事端产生。

  无油真空泵技能参数无油真空泵：又称干式真空泵，是泵的作业腔内没有任何介质，能够原汁原味的收回气体。